램리서치, AI 반도체 제조 신기술 공개...2028년 매출 280억달러 전망

미국 반도체 장비업체 램리서치(Lam Research)가 첨단 AI 반도체 제조를 위한 신규 장비 2종을 공개했다.
램리서치는 13일(현지시간) 혁신적인 플라즈마 식각 및 첨단 도체 식각 장비인 '아카라(Akara)'를 선보였다.
아카라는 3D 반도체 제조에 필요한 식각 정밀도와 성능을 구현하는 새로운 플라즈마 공정 기술을 제공한다.
이 장비는 게이트올어라운드(GAA) 트랜지스터, 6F2 DRAM, 3D 낸드 소자의 스케일링을 가능하게 하며, 4F2 DRAM, 상보형 전계효과 트랜지스터, 3D DRAM까지 확장 적용이 가능하다.
이러한 소자들은 복잡한 3D 구조를 형성하기 위해 식각 공정과 극자외선(EUV) 리소그래피 패터닝이 필요하다.
TSMC의 미이 공동최고운영책임자(COO)는 새로운 고성능 소자 구조가 제기하는 반도체 생산 과제를 해결하는 데 플라즈마 식각 기술이 핵심이 될 것이라고 언급했다.
램리서치는 또한 첨단 반도체 생산에서 몰리브덴 금속의 성능을 활용하는 원자층증착(ALD) 장비 ....................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................